Expertise Microélectronique et Microsystème
Avec la Microscopie Electronique en Transmission (MET), SERMA TECHNOLOGIES offre une large palette de services en analyses de microstructures jusqu'à l'échelle de l'atome.Nos compétences portent aussi bien sur des analyses de structure que de composition chimique effectuées sur des matériaux variés tels que semi-conducteurs (Si, Ge, GaAs…), métaux et alliages, composites carbone, quartz, etc…
> Galerie de photos TEM
Préparation des échantillons TEM
Méthodes :
> Polissage tripode
> Amincissement ionique Ar+
> Amincissement FIB
- possibilité de préparation TEM directement sur boîtiers, diodes,
microsections enrobées, etc.
- possibilité de localisation très précise de lames TEM
Équipements utilisés :
• Microscope optique inversé, Tripod, Polisseuses…
• Amincisseurs ioniques Ar+ :
Duomill, Precision Ion Polishing System Gatan (PIPS)
• Observations EDX
• Amincisseurs ioniques Ga+ :
Focused Ion Beam (FIB) 200 FEI simple faisceau,
STRATA 400 FEI double faisceau (FIB/MEB).
Analyses TEM
Méthodes :
• Imageries conventionnelle et haute résolution
• Diffraction électronique
• Microscope électronique en transmission à balayage (STEM)
• Spectroscopie de rayons X en Dispersion d'Énergie (X-EDS)
• Spectroscopie & cartographie chimique par pertes d'énergie des électrons (EELS & EFTEM)
Équipements utilisés :
analytique JEOL 2010 FEF :
analytique FEI TECNAI G 2 F20 S-TWIN :
Canon à émission de champ (FEG) Schottky
Angles de tilt (porte-échantillon double-tilt) : ±25°
TEM : résolution point-point : 0.19 nm ;
résolution plan-plan : 0.1 nm ;
STEM : modes champ clair & champ sombre
détecteur HAADF à résolution atomique
résolution STEM HAADF : 0.34 nm
X-EDS : Détecteur EDAX UTW (Si)
EDS Système Oxford INCA
EELS : Filtre type Omega
Résolution en spectroscopie
< 2eV
Canon à émission de champ (FEG) Schottky
Angles de tilt (porte-échantillon double-tilt) : ±40°
TEM : résolution point-point : 0.24 nm ;
résolution plan-plan : 0.102 nm ;
STEM : modes champ clair & champ sombre
détecteur HAADF à résolution atomique
résolution STEM HAADF : 0.19 nm
X-EDS : Détecteur EDAX UTW (Si)
Logiciel d'acquisition Emispec Vision™
Contact
BHT – Bâtiment 52 - 7, Parvis Louis Néel
BP 50 - 38040 Grenoble Cedex 9
Téléphone : + 33(0)4 38 02 36 80
Fax : + 33 (0)4 76 96 25 40
Responsable de l'établissement de Grenoble :
M. Laurent Callet
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