Expertise - FIB

Elektrische Expertise – Änderung der integrierten Schaltkreise durch FIB

Der FIB (Focused Ion Beam) erlaubt Eingriffe auf die verschiedenen Layer eines integrierten Schaltkreises mit folgendem Zweck:

• Validieren einer Entwicklung für ein neues Produkt
• Frühere Herausgabe dieses neuen Produkts
• Prototyping für den Endkunden.
• als Vorbereitung für die elektrische Charakterisierung und Fehleranalyse.

Interventionsarten:

• Korrektur / Änderung der Funktionalität:
• Unterbrechungen metallischer Leiterbahnen
• Hinzufügen von Lücken, Aufbringen neuer Leiterbahnen.
• Hinzufügen von Testkontakten Messzwecken.

Weitere Einsatzmöglichkeiten für den FIB:

• Mikroschnitt für die physikalische Charakterisierung.
• Vorbereiten von Proben zur TEM-Beobachtung > Mehr darüber
• Mikrobearbeitung: Gravur und Aufbringen von Layern mit Mikrometermaßstab.

Ausstattung:

• FIB FEI 200 mit CAD-Station