Expertise in Mikroelektronik und Mikrosystem

Anhand der Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) bietet SERMA TECHNOLOGIES eine reichhaltige Auswahl an Dienstleistungen für die Analyse von Mikrostrukturen bis hin zum Atom. Unsere Kompetenzen reichen von den Strukturanalysen bis hin zur Analyse chemischer Zusammensetzungen, die wir an einer Vielfalt von Werkstoffen ausführen, wie zum Beispiel Halbleiter (Si, Ge, GaAs…), Metalle und Legierungen, Kohlenstoffzusammensetzungen, Quarz usw.



> TEM Portfolio


Vorbereitung der TEM-Proben

Methoden:

> Tripod-Präzisionspolieren
> Ionendünnung Ar+
> FIB-Dünnung

- direkte Extrahierungsmöglichkeit der TEM-Lamellen aus Gehäusen, Dioden, beschichteten Mikroschliffe usw.
- Möglichkeit der ultrapräzisen Lokalisierung der TEM-Lamellen.

Verwendete Ausstattungen:

FIB 200 FEI (Microscopie électronique)

• Mikroskop mit umgekehrter Optik, Tripod, Poliermaschinen…
• Gerät für Ionendünnung Ar+:
Duomill, Precision Ion Polishing System Gatan (PIPS)
• EDX Analyse
• Ionische Poliergeräte Ga+:
Focused Ion Beam (FIB) 200 FEI einfacher Strahl,
STRATA 400 FEI doppelter Strahl (FIB/MEB).

 

 

 

 

TEM-Analysen

Microscopie électronique

Methoden :

• Konventionelle und hochauflösende Bilderfassung
• Elektronische Strahlenbeugung
• Transmissions-Rasterelektronenmikroskop (STEM)
• Energiedispersive Röntgenspektroskopie (X-EDS)
• Chemische Spektroskopie & Kartographie durch Elektronenergieverlustspektroskopie (EELS & EFTEM).

 

 

 

Verwendete Ausstattungen :

• Transmissions-Rasterelektronenmikroskop JEOL 2010 FEF :
• Transmissions-Rasterelektronenmikroskop FEI TECNAI G 2 F20 S-TWIN :
Beschleunigungsspannung: 200 kV
Feldemissionselekronenmikroskop (FEG) Schottky
Tilt-Winkel (Doppeltilt-Probenhalter): ± 25[p1] ° [a2]
TEM: Punkt zu Punkt-Auflösung: 0.19 nm;
Ebene zu Ebene-Auflösung: 0,1 nm;
STEM: Hell- und Dunkelfeldbetrieb
HAADF Detektor mit atomarer Auflösung
Auflösung STEM HAADF: 0.34 nm
X-EDS: Detektor EDAX UTW (Si)
INCA EDS System von Oxford Instruments
EELS: Filter Typ Omega
Auflösung für Spektroskopie < 2eV
Beschleunigungsspannung: 200 kV
Feldemissionselektronenmikroskop (FEG) Schottky
Tilt-Winkel (Doppeltilt-Probenhalter): ± 40[p3]°
TEM: Punkt zu Punkt-Auflösung: 0.24 nm;
Ebene zu Ebene-Auflösung: 0.102 nm;
STEM: Hellfeld- und Dunkelfeldbetrieb
Auflösung STEM HAADF: 0.19 nm
X-EDS: Detektor EDAX UTW (Si)
Erfassungssoftware Emispec Vision™


Kontakt

BHT – Bâtiment 52 - 7, Parvis Louis Néel
BP 50 - 38040 Grenoble Cedex 9
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